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&&适用于真空的L-220 V6高分辨率线性执行器
适用于高循环数
适用于真空的L-220 V6高分辨率线性执行器
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适用于高达10-6 hPa的真空
力至125 N
26毫米（1英寸）行程范围
步进电机
参考级直线驱动器
结合了高精度，高作用力和高动态性。具有齿轮比的高性能，低振动的2相步进电机即使在没有位置控制的情况下也可以进行精确定位。
减少放气，特别是在真空环境下使用
最显着的是，为了润滑导向装置和驱动螺杆，使用了排气量极低的材料。因此，烘烤温度可达到80°C。通过对PI V6真空等级的这种和其他修改，该定位器的使用时间可达10 -6 hPa。
优质组件
滚珠丝杠，送纸顺畅。非旋转尖端可确保均匀运动，从而防止在接触点出现摆动，扭矩和磨损。含税 平面和球形尖端可消除耦合力。非接触式限位开关可保护机械性能。方向感应参考开关支持自动化应用。
应用领域
真空室。研究。Beamline仪表。显微镜检查。电子组装和检查。
&&A-68x PIglide RLA旋转平台，带空气轴承，大孔径
无摩擦，电动
A-68x PIglide RLA旋转平台，带空气轴承，大孔径
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直径365毫米的运动平台，直径260毫米的光圈
低调
偏心和平整度<300 nm
产品总览
PIglide RLA系列的直接驱动平面旋转平台设计为具有的精度。它们外形小巧，通光孔径大。RLA位移台具有出色的行程精度，平坦度和摆动性能。
绝对编码器（可选）
绝对值编码器提供明确的位置信息，可立即确定位置。这意味着在接通过程中不需要引用，从而提高了操作期间的效率和安全性。
应用领域
断层扫描，束线系统，晶圆计量，晶圆检查，测量技术，检查系统，校准，扫描。
由于无摩擦运动，不会形成任何颗粒，这使PIglide平台成为洁净室应用的理想选择。
三相转矩电机
无刷
低齿槽转矩
配件和选件
增量或绝对编码器
PIglide过滤器和空气制备套件
单轴或多轴运动控制器和伺服驱动器
多轴/自定义设置
花岗岩制底板和减振系统